摘要： 合理利用太阳光是当今节能与环保学科的重要课题。以钛金属为靶材，在O₂气氛中用准分子脉冲激光沉积法（PLD），在石英玻璃基片上制备了钛的金属氧化物薄膜。XRD和AFM研究结果表明，TiO₂薄膜透明呈浅褐色，晶粒尺寸在数百nm，成膜均匀致密，光滑平整。经紫外和红外光谱发现：TiO₂薄膜反射率为20. 7%，是一种低反射薄膜，其在可见光区的透过率约为76%，对紫外的阻隔率大于70%，对近红外的阻隔率大于20%。TiO₂薄膜吸波性能和透波性与纳米金属粒子的粒径、形状和排布密切相关。综合考虑紫外区和近红外区的阻隔作用与可见光区的透过率，TiO₂在开发抗近红外/紫外的新型隔热薄膜方面具有良好的发展前景。

关键词: 脉冲激光沉积法, TiO₂薄膜, 光谱选择性

中图分类号: 

• O484.4