几种典型湿度传感器的原理和概要分析

韩悦文

Received:2014-01-14 Revised:2014-01-14 Online:2009-03-25 Published:2014-01-14

摘要： 湿度是一个重要的物理量,航空航天,计量等许多环境中需要在高温下进行湿度的测量.目前用于低温下测量的湿敏传感器主要有3类:电解质湿度传感器、半导体陶瓷湿度传感器和有机高分子聚合物湿度传感器.对湿度传感器的几种典型原理作了简要介绍,概要分析了湿度传感器用于高温测量的发展趋势.

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